클린룸 공기 필터는 팬 필터 장치 또는 공기 처리 시스템을 통과하는 공기에서 공기 중의 입자, 섬유 및 미생물을 포착하여 클린룸을 필요한 ISO 청정도 등급으로 유지하는 구성 요소입니다. 대부분의 클린룸 공기 필터는 0.3미크론에서 99.97% ~ 99.9995% 효율 등급의 HEPA 또는 ULPA 유리 섬유 매체를 사용합니다. 저항이 초기 값의 1.5~2배로 올라가거나, PAO 누출 검사에서 정격 한계를 초과하는 침투가 보이거나, H13 및 H14 등급의 일반적인 3~5년 서비스 수명을 지나면 필터를 교체해야 합니다. 올바르게 일치하는 교체 필터로 교체하면 입자 제어가 복원되고 팬 에너지 사용을 20~30% 줄일 수 있으며 필터 고장과 관련된 오염 이벤트를 방지할 수 있습니다.
클린룸 공기 필터는 모든 FFU 장치, 천장 그리드 및 모듈형 클린룸 패널 인클로저의 중앙에 위치합니다. 부품은 소모성 부품이기 때문에 시설 팀에서는 교체를 추측으로 처리하기보다는 등급 지정, 크기 조정, 설치 및 테스트를 위한 명확한 프레임워크가 필요합니다. 아래 섹션에서는 필터 등급 선택부터 교체 후 승인 테스트까지 해당 프레임워크를 안내합니다.
필터 등급 및 각 등급이 속하는 위치
클린룸 시스템은 설치된 가장 약한 필터 등급만큼만 깨끗합니다. 필터 효율성을 대상 ISO 등급에 맞추면 여과 부족과 미디어 과잉 지정으로 인한 불필요한 비용이 모두 방지됩니다.
| ISO 클래스 | 추천등급 | 0.3um의 효율 | 일반적인 응용 |
| ISO 7-8 | H13 | 99.97% | 일반전자제품, 포장, 식품취급 |
| ISO 6 | H14 | 99.995% | 제약 클린룸 시스템, 주입실 |
| ISO 5 | H14 또는 U15 | 99.995% - 99.9995% | 반도체 패키징, 실험실 클린룸 패널 분야 |
| ISO 4-5(고급) | U15 / U17 | 99.9995% - 99.999995% | 웨이퍼제조, 정밀광학 |
클린룸 고효율 필터는 일반적으로 중앙 AHU 내부에서만 실행되기보다는 팬 필터 장치와 쌍을 이룹니다. FFU가 필터링된 공기를 천장 수준에 직접 분배하고 입자를 다시 유입시킬 수 있는 덕트 작동을 단축하기 때문입니다.
FFU 팬 필터 장치 내부에서 필터가 작동하는 방식
FFU 필터 장치는 사전 필터 단계를 통해 실내 공기 또는 플레넘 공기를 끌어당긴 다음 HEPA 또는 ULPA 매체를 통해 밀어낸 후 층류 패턴으로 아래쪽으로 방출합니다. 클린룸 공기 필터 내부의 주름진 미디어는 표면적을 늘려 직물 전체의 면 속도를 낮추고 저항이 증가하기 전에 먼지 보유 용량을 확장합니다. 모듈식 FFU 장치는 일반적으로 알루미늄 또는 핫멜트 분리기가 포함된 미니 주름 팩을 사용하며 폴리우레탄 또는 젤 기반 밀봉제로 프레임에 밀봉되어 공기가 프레임 조인트의 미디어를 우회할 수 없습니다.
세 가지 구조적 세부 사항이 필터의 사용 기간을 결정합니다.
- 유효 여과 면적을 설정하는 주름 깊이 및 개수
- 알루미늄 분리기가 종이보다 습하거나 부식성 공기를 더 잘 처리하는 분리기 재료
- 뒤틀린 프레임이 씰을 깨고 여과되지 않은 공기가 미디어 주위를 통과하도록 하기 때문에 프레임 평탄도
관련 클린룸 여과 제품
아래의 패널과 필터는 동일한 모듈형 클린룸 구성 제품군의 일부로, 패널 벽, FFU 하우징 및 필터 교체 주기 전반에 걸쳐 함께 작동하도록 제작되었습니다.
필터를 교체해야 함을 알려주는 4가지 신호
청정도 판독값이 눈에 띄게 떨어질 때까지 기다리는 것은 필터가 이미 한동안 작동하지 않았다는 의미입니다. 이 네 가지 지표는 문제를 더 일찍 포착합니다.
| 표시기 | 정상 범위 | 교체시기 |
| 초기저항(H13/H14) | 180-280 Pa | 시작 값의 1.5-2배에 도달 |
| 하류 입자 수 | 안정적이고 드리프트가 없습니다. | 0.5um 개수가 클래스 제한을 초과합니다. |
| PAO 또는 DOP 누출 검사 | H14의 경우 0.01% 미만의 침투율 | 모든 스캔 포인트가 제한을 초과합니다. |
| 누적 실행 시간 | 설계 수명 3~5년 이내 | 과거 제조업체 권장 시간 |
기존 하우징과의 크기 및 씰 호환성
교체용 클린룸 공기 필터는 원래 FFU 하우징의 치수와 일치해야 합니다. 그렇지 않으면 공기 흐름이 프레임의 틈을 통해 미디어를 우회하게 됩니다.
- 외부 치수: 일반적인 크기는 1170x570x69mm, 610x610x69mm 및 1220x610x69mm이며 표준 깊이의 경우 두께가 69mm이고 더 많은 먼지 보유 용량이 필요한 경우 90mm입니다. 치수 공차는 ±1.5mm 이내로 유지되어야 합니다.
- 인감 유형: 젤 씰은 고급 클린룸에 적합하며 장기 기밀성 측면에서 개스킷 씰보다 성능이 뛰어납니다. PE, EVA 또는 네오프렌으로 만든 표준 개스킷은 원래 두께의 25~30%로 압축되어야 합니다.
- 플랜지 프로필: 칼날 플랜지는 젤 씰과 쌍을 이루고 플랫 플랜지는 개스킷 씰과 쌍을 이룹니다. 교체 필터는 필터가 장착되는 하우징과 동일한 플랜지 프로파일을 사용해야 합니다.
- 분리기 재료: 알루미늄 분리기는 건조하고 습도가 낮은 공간에만 적합한 종이 분리기보다 부식과 습기에 더 잘 견딥니다.
- 보호 스크린: 하류 면에 스테인리스 스틸 또는 분체 코팅 스크린이 있고 메시 크기는 5x5mm 이하이며 취급 중 미디어가 손상되지 않도록 보호합니다.
주문하기 전에 오래된 필터를 직접 측정하여 하우징 도면과 비교하여 확인하거나 교체품이 정확히 일치하도록 공급업체에 샘플 장치와 부품 번호를 보내는 것이 도움이 됩니다.
10단계 설치 순서
설치 방법은 필터 자체만큼 씰 무결성에 영향을 미칩니다. 급하게 교체하면 올바르게 지정된 교체 필터의 이점이 취소될 수 있습니다.
| 단계 | 액션 |
| 1 | FFU 전원을 차단하고 클린룸 의류를 착용하고 검사를 위해 새 필터를 준비합니다. |
| 2 | 하우징 내부에 충격을 주지 않고 클램프나 나사를 풀고 기존 필터를 제거합니다. |
| 3 | 하우징 벽, 플랜지 표면 및 씰 홈을 이소프로필 알코올로 닦아내고 뒤집어서 닦습니다. |
| 4 | 플랜지의 뒤틀림, 녹, 긁힘 등을 확인하고 편차가 1mm 이상인 경우 수리합니다. |
| 5 | 공기 흐름 화살표가 실내를 가리키도록 새 필터를 제자리에 설치합니다. |
| 6 | 약 2-4 N.m 토크로 대각선 교대 패턴으로 클램프를 조입니다. |
| 7 | 확산판이나 분배필름을 고르게 다시 설치하세요. |
| 8 | 전원을 켜고 최소 5개 지점에서 팬 소음과 면속도를 확인합니다. |
| 9 | 미디어 표면과 프레임 씰 전체에 PAO 누출 스캔을 실행합니다. |
| 10 | 날짜, 필터 일련 번호 및 시작 저항을 기록한 다음 프레임에 라벨을 붙입니다. |
교체 후 승인 확인
이러한 점검을 통해 방이 사양으로 돌아왔음을 확인할 때까지 교환은 완료되지 않습니다.
| 확인 | 합격 기준 | 실패할 경우 |
| 면속도 | 정격속도 15% 이내, 균일성 20% 이내 | 팬 속도를 조정하거나 장애물이 있는지 확인하세요. |
| PAO 누출 검사 | H14의 경우 0.01% 미만, H13의 경우 0.03% 미만 | 프레임을 다시 밀봉하거나 필터를 교체하세요. |
| 초기저항 | 제조업체 사양 범위와 일치 | 확인 gauge calibration and tubing |
| 소음 수준 | 58dB(A) 이하 | 팬 임펠러 균형 및 장착 검사 |
클린룸 공기 필터가 사용되는 곳
미디어 등급과 하우징이 위험 수준에 일치하면 동일한 필터와 FFU 조합이 매우 다양한 산업 전반에 걸쳐 확장됩니다.
- 제약 클린룸 시스템 및 의료 클린룸 패널과 결합된 제약 제조 및 충전 마감 라인
- 스테인레스 스틸 클린룸 패널 또는 알루미늄 허니컴 클린룸 패널 벽으로 제작되는 경우가 많은 반도체 및 전자 어셈블리
- 병원 수술실 및 격리 병동, 진입 지점에 에어 샤워실과 자주 결합됨
- 먼지 발생원 근처에 방폭형 FFU 팬 필터 장치 구성이 필요한 식품 가공 라인
- 샘플 이동을 위한 클린룸 통과 창과 함께 실험실 클린룸 패널을 사용하는 연구 시설
교체 필터를 구입하기 전 확인해야 할 5가지 사항
필터 품질은 명시된 등급이 동일하더라도 공급업체마다 크게 다르므로 구매 전 간단한 체크리스트를 통해 나중에 재작업을 줄일 수 있습니다.
- 미디어 품질: 미세 유리 섬유 매체는 수명 기간 동안 효율성과 저항성을 안정적으로 유지합니다. 낮은 등급의 미디어는 빠르게 품질이 저하되고 정상적인 공기 흐름에서 찢어질 수 있습니다.
- 테스트 문서: 각 필터는 EN 1822 또는 IEST 표준에 따라 효율성, 저항 및 가장 높은 누출 지점의 위치를 보여주는 개별 스캔 보고서와 함께 배송되어야 합니다.
- 실런트 상태: 미디어 팩과 프레임 사이의 결합은 색상이 균일하고 기포나 균열이 없는 폴리우레탄 또는 에폭시여야 하며 누출 없이 50Pa를 유지해야 합니다.
- 프레임 정밀도: 1mm 이내의 평탄도와 2mm 이내의 대각선 차이; 6063-T5 알루미늄 합금 프레임은 아연 도금 강철보다 부식에 더 잘 견딥니다.
- 인증 및 보증: ISO 9001 또는 이와 유사한 인증과 효율성 및 구조적 무결성에 대한 1~2년 보증을 찾아보세요.
맞춤형 클린룸 패널, 클린룸 벽 패널 및 클린룸 도어는 모두 동일한 공기 여과 전략에 연결되므로 일반적으로 클린룸 샌드위치 패널 빌드 전반에 걸쳐 브랜드를 혼합하는 대신 부품 번호를 정확히 일치시킬 수 있는 한 공급업체의 필터, 패널 및 FFU 구성 요소를 소싱하는 것이 더 간단합니다.